172真空紫外光源

LLZW172-10

准分子光源特点：

□ 单色性好，紫外输出能量集中，紫外输出强度高,可达10mW/cm2；

□ 非相干光有利于大面积加工；

□ 无传统光源固有的电极腐蚀现象，使用寿命极大加长；

□ 可随时瞬间开启熄灭，无需预热，无需快门，开关次数不影响使用寿命；

□ 开启和运行不受周围环境温度影响；

□ 冷光源，不产生红外输出，对被处理对象无明显加热效应；

□ 绿色环保。制造无需用汞，无二次污染和废旧回收处理问题。 

172 nm波长准分子灯应用领域：

波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV，足以打开大多数分子键，能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应，可广泛应用于：

□ 表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程，清洗掩摸，去除光刻胶；

□ 表面刻蚀和改性（如聚酰亚胺，氟材料等）；

□ 低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等；

□ 光氧化、光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性；

□ 室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电极；

□ 表面活化，以增加表面张力和湿润性；

□ 有机降解。除总有机碳（TOC）制取超纯水，分解农药残留，印染废水的光化学脱色；

□ 高纯臭氧发生。